「ペリクル」独占の三井化学をリンテック、NGK、サムスンが追撃

先端半導体の量産化のカギを握る「ペリクル」。受託製造メーカーの熾烈な開発競争の裏側では、ペリクルをめぐる覇権争いも。

2026年6月号 BUSINESS

需要が急拡大するAI(人工知能)の性能を左右する先端半導体。半導体受託製造最大手の台湾積体電路製造(TSMC)をはじめ、韓国サムスン電子、米インテル、国産化を目指すラピダスが量産化でしのぎを削る。その量産に欠かせない「ペリクル」という小さな部材の開発競争も激化している。半導体の配線が1ナノメートル台になれば、新型の極端紫外線(EUV)露光機が必要とされるが、これに対応するペリクルがなければ、量産に進めない。三井化学が業界標準を獲得する見通しになったが、露光機の性能向上が進めば、さらに高機能のペリクルが求められる。リンテックやNGK、それにサムスングループなど韓国勢が三井化学の牙城を崩そうと独自技術の開発に力を入れている。TSMCを追って、ラピダスも来年度に2ナノ、その次に1.4ナノメートルプロセス半導体の生産を計画している。これを実現する露光機は開口数(NA ………

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